| 发明名称 | 乙醇、二氧化氮双敏薄膜气体传感器 | ||
| 摘要 | 本发明是检测乙醇和二氧化氮双敏薄膜气体传感器。主要应用在汽车电子化、环境污染和气体分析等领域。采用等离子体增强化学气相淀积技术，制备Fe<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>TiO<SUB>2</SUB>-SnO<SUB>2</SUB>复合薄膜敏感材料，其元件结构为旁热式，气体最低检出浓度为5ppm以下。它具有灵敏度高、响应快、恢复时间短和易进行大批量生产等特点。 | ||
| 申请公布号 | CN1041453A | 申请公布日期 | 1990.04.18 |
| 申请号 | CN89106243.2 | 申请日期 | 1989.07.29 |
| 申请人 | 吉林大学 | 发明人 | 戴国瑞;陈百华;李桂荣 |
| 分类号 | G01N27/04 | 主分类号 | G01N27/04 |
| 代理机构 | 吉林大学专利事务所 | 代理人 | 刘喜生 |
| 主权项 | 1、本发明是一种乙醇(C2H5OH)、二氧化氮(NO2)双敏薄膜气体传感器，其特征在于采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)技术，制备三氧化二铁、二氧化钛和二氧化锡(Fe2O3-TiO2-SnO2)复合薄膜敏感材料，以制成各种形状、结构的C2H5OH-NO2薄膜气体传感器。 | ||
| 地址 | 吉林省长春市解放大路83号 | ||