发明名称 MANUFACTURING DEVICE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02105550(A) 申请公布日期 1990.04.18
申请号 JP19880258520 申请日期 1988.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 TAIRA SHOICHI
分类号 H01L21/52;H01L21/56;H01L21/66 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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