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经营范围
发明名称
ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH02106038(A)
申请公布日期
1990.04.18
申请号
JP19880260248
申请日期
1988.10.14
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
SAEGUSA HIDEHITO;FUKAZAWA KAZUO
分类号
C23F1/08;F25D9/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
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