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发明名称 ASHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02105415(A) 申请公布日期 1990.04.18
申请号 JP19880257131 申请日期 1988.10.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 INADA AKIISA;KAWASUMI KENICHI;FUJITO TOSHIAKI;TAKANASHI AKIHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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