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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0214205(Y2)
申请公布日期
1990.04.18
申请号
JP19810085732U
申请日期
1981.06.09
申请人
发明人
分类号
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/822;H01L21/8229;H01L23/62;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/102;H01L29/72;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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