发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02105516(A) 申请公布日期 1990.04.18
申请号 JP19880258526 申请日期 1988.10.14
申请人 NEC CORP 发明人 KOSHIDA HARUTAKA
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
地址
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