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经营范围
发明名称
DETECTION OF END POINT OF ETCHING
摘要
申请公布号
JPH02105524(A)
申请公布日期
1990.04.18
申请号
JP19880257335
申请日期
1988.10.14
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
DOMAE SHINICHI
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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