PARALLEL-PLATE TYPE DRY ETCHING APPARATUS,申请号JP19880258714-传众专利搜索

发明名称	PARALLEL-PLATE TYPE DRY ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号	JPH02105414(A)	申请公布日期	1990.04.18
申请号	JP19880258714	申请日期	1988.10.13
申请人	NEC CORP	发明人	TSUKAMOTO YASUNOBU
分类号	C23F1/08;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	C23F1/08
代理机构		代理人
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