发明名称 Process for forming vertical bipolar transistors and high voltage CMOS in a single integrated circuit chip
摘要
申请公布号 US4918026(A) 申请公布日期 1990.04.17
申请号 US19890325164 申请日期 1989.03.17
申请人 DELCO ELECTRONICS CORPORATION 发明人 KOSIAK, WALTER K.;SCHNABEL, DOUGLAS R.;MANN, JONATHAN D.;PARRISH, JACK D.;ROWLANDS, III, PAUL R.
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/732 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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