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发明名称 MANUFACTURE OF CARBON FILM MADE INTO SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH02103927(A) 申请公布日期 1990.04.17
申请号 JP19880258220 申请日期 1988.10.13
申请人 MEIDENSHA CORP 发明人 WATANABE MISUZU
分类号 C23C14/06;H01L21/203 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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