| 发明名称 |
MANUFACTURE OF GAAS SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02102546(A) |
申请公布日期 |
1990.04.16 |
| 申请号 |
JP19880257772 |
申请日期 |
1988.10.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
IKEDA KANICHIRO;SONODA TAKUJI;HAYASHI KAZUO |
| 分类号 |
H01L21/338;H01L29/41;H01L29/417;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L21/338 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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