| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02102514(A) |
申请公布日期 |
1990.04.16 |
| 申请号 |
JP19880254752 |
申请日期 |
1988.10.12 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MOCHIZUKI YASUHIRO;INOUE HIRONORI |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/76;H01L27/12;H01L29/02 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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