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发明名称
SUBSTRATE SUPPORT MECHANISM
摘要
申请公布号
JPH02102600(A)
申请公布日期
1990.04.16
申请号
JP19880255654
申请日期
1988.10.11
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
SUNAGA TAKASHI
分类号
B23P19/00;H05K13/04
主分类号
B23P19/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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