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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR CUMULATING ORGANIC THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH02102761(A) 申请公布日期 1990.04.16
申请号 JP19880256382 申请日期 1988.10.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TATSUURA SATOSHI;YANO EI
分类号 B05C3/02;B05D1/20;C09K3/00;H01L21/368;H01L51/05;H01L51/40 主分类号 B05C3/02
代理机构 代理人
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