发明名称 CHECKING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02103480(A) 申请公布日期 1990.04.16
申请号 JP19880257586 申请日期 1988.10.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 UEDA MASATAKA
分类号 G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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