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经营范围
发明名称
CHECKING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH02103480(A)
申请公布日期
1990.04.16
申请号
JP19880257586
申请日期
1988.10.13
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
UEDA MASATAKA
分类号
G01R31/28
主分类号
G01R31/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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