发明名称 PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH02103049(A) 申请公布日期 1990.04.16
申请号 JP19880254856 申请日期 1988.10.12
申请人 TOSOH CORP 发明人 KOSHIYOU MASAAKI;YAMAMOTO TAKASHI;NAGAOKA TSUNEKO;KIYOTA TORU
分类号 G03F7/012;G03F7/023;G03F7/20 主分类号 G03F7/012
代理机构 代理人
主权项
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