ELLIPSOMETRISCHES VERFAHREN SOWIE ELLIPSOMETRISCHE VORRICHTUNG ZUR UNTERSUCHUNG DER PHYSIKALISCHEN EIGENSCHAFTEN VON PROBEN BZW. OBERFLAECHENSCHICHTEN VON PROBEN.
摘要
申请公布号
AT51300(T)
申请公布日期
1990.04.15
申请号
AT19850105624T
申请日期
1985.05.08
申请人
SAGAX INSTRUMENT AB
发明人
BJOERK, NILS ARVID NORMAN;SANDSTROEM, ERLAND TORBJOERN;STENBERG, JOHAN EMANUEL;STIBLERT, LARS BERTIL
