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发明名称 CHIP IDENTIFICATION SYMBOL DRAWING METHOD
摘要
申请公布号 JPH02101729(A) 申请公布日期 1990.04.13
申请号 JP19880253816 申请日期 1988.10.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FURUKAWA TAKAO;KIKUCHI TAKEO
分类号 H01L21/30;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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