| 摘要 |
<P>Appareil de mise sous vide comprenant 1 une pompe sous vide à piston alternatif, les segments de piston et le matériau d'étanchéité de l'arbre de piston étant réalisés en une matière autolubrifiante au moins sur la surface et dans lequel un ou plusieurs soufflets métalliques sont utilisés pour rendre étanche la partie située entre l'arbre de piston à l'extérieur du cylindre et la face extérieure de la paroi d'extrémité de cylindre, et 2 une pompe turbomoléculaire dans laquelle un carter, des pales fixes montées sur le carter, un rotor, et des pales mobiles prévues sur le rotor sont disposés coaxialement, et dans lequel l'ouverture de décharge de la pompe sous vide à piston alternatif est ouverte à l'atmosphère, et l'ouverture d'aspiration de la pompe turbomoléculaire est reliée à un appareil à mettre sous vide.</P>
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