| 摘要 |
Cet enroulement 10 comprend un substrat isolant 12 sur lequel sont formés un conducteur à enroulement en spirale 14 et des électrodes terminales 16a, 16b. On réalise le conducteur et les électrodes en formant un film conducteur sur les surfaces du substrat, puis en attaquant celui-ci. On forme un premier film d'isolation 18 (polyimide ou polyamide), sur le substrat, de façon à recouvrir le conducteur et les électrodes. Le film 18 est attaqué de telle sorte que les parties correspondant aux électrodes sont enlevées, et que l'on forme un trou de passage 20 au niveau d'une partie dont la position correspond à l'extrémité intérieure 15 du conducteur 14. On forme un nouveau film conducteur sur le film 18, et on l'attaque pour former un conducteur de liaison 22, dont les deux extrémités sont connectées respectivement à l'extrémité intérieure 15 du conducteur 14 et à la seconde électrode 16b par le trou de passage. En outre, on forme un second film d'isolation 24 sur le substrat puis on l'attaque, les électrodes 16a, 16b étant alors exposées. |
