发明名称 METHOD AND ARRANGEMENT FOR THE OPERATION OF A FEELER HEAD OF THE SWITCHING TYPE
摘要
申请公布号 EP0351713(A3) 申请公布日期 1990.04.11
申请号 EP19890112800 申请日期 1989.07.13
申请人 FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS CARL ZEISS 发明人 ENDERLE, ECKHARD;AEHNELT, HANS-PETER;AUBELE, KARL-EUGEN;WIRTH, MICHAEL
分类号 G01B21/20;G01B11/00;G01B21/00;(IPC1-7):G01B11/00;G01B7/00 主分类号 G01B21/20
代理机构 代理人
主权项
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