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发明名称
METHOD AND ARRANGEMENT FOR THE OPERATION OF A FEELER HEAD OF THE SWITCHING TYPE
摘要
申请公布号
EP0351713(A3)
申请公布日期
1990.04.11
申请号
EP19890112800
申请日期
1989.07.13
申请人
FIRMA CARL ZEISS;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS CARL ZEISS
发明人
ENDERLE, ECKHARD;AEHNELT, HANS-PETER;AUBELE, KARL-EUGEN;WIRTH, MICHAEL
分类号
G01B21/20;G01B11/00;G01B21/00;(IPC1-7):G01B11/00;G01B7/00
主分类号
G01B21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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