摘要 |
<p>Bei einer Meßanordnung für den Abstand zwischen einer Markierung (32) auf einem verschiebbaren Markierungsträger (30) und einer Referenzlinie sind zur Erzielung einer hohen Auflösung und einer niederen Abtastfrequenz auf der Innenseite des Röhrenbodens (9) einer Elektronenstrahlröhre (1) wenigstens zwei einen Meßspalt (20) begrenzende Elektroden (17, 18) vorgesehen. Die Ablenkeinheit (6) der Elektronenstrahlröhre wird so angesteuert, daß der in Querrichtung den Meßspalt überdeckende Auftrefffleck (7) des Elektronenstrahls (4) auf dem Röhrenboden ohne äußere Beeinflussung so am Meßspalt entlangläuft, daß die Differenz der über die beiden Elektroden abfließenden Ströme einen vorgebbaren Wert besitzt. Der Markierungsträger übt auf den Elektronenstrahl einen Einfluß aus, der sich bei Verschiebung des Markierungsträgers ändert und durch den der Auftrefffleck quer zur Längsrichtung des Meßspaltes verschoben wird. Durch Mitführen des Auftreffflecks mit dem Markierungsträger kann dieser Einfluß konstant gehalten werden. Das hierfür erforderliche Ansteuersignal für die Ablenkeinheit liefert ein Maß für den gesuchten Abstand.</p> |