MAGNETRON FOR THIN LAYERS' DEPOSITION IN VACUUM,申请号CS19880007828-传众专利搜索

发明名称	MAGNETRON FOR THIN LAYERS' DEPOSITION IN VACUUM
摘要
申请公布号	CS269498(B1)	申请公布日期	1990.04.11
申请号	CS19880007828	申请日期	1988.11.29
申请人	STANISLAV JIRI ING.,CS;EXNER MILAN ING.,CS;FREY AUGUSTIN,CS;KULT JAROSLAV ING.,CS;MATUSKA JOSEF ING.,CS	发明人	STANISLAV JIRI ING.,CS;EXNER MILAN ING.,CS;FREY AUGUSTIN,CS;KULT JAROSLAV ING.,CS;MATUSKA JOSEF ING.,CS
分类号	C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
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