发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0298137(A) 申请公布日期 1990.04.10
申请号 JP19880250380 申请日期 1988.10.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 SANO AKIRA
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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