发明名称 Capping layer for recrystallization process
摘要
申请公布号 US4915772(A) 申请公布日期 1990.04.10
申请号 US19860913998 申请日期 1986.10.01
申请人 CORNING INCORPORATED 发明人 FEHLNER, FRANCIS P.;MILLER, ROGER A.;WHITMAN, ARTHUR J.
分类号 B32B9/00;B32B5/18;B32B7/02;B32B15/04;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/268 主分类号 B32B9/00
代理机构 代理人
主权项
地址