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经营范围
发明名称
VACUUM TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0298130(A)
申请公布日期
1990.04.10
申请号
JP19880250538
申请日期
1988.10.04
申请人
ULVAC CORP
发明人
MORI KATSUHIKO;SHIMIZU AKIRA
分类号
H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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