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发明名称
CLEANING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0298133(A)
申请公布日期
1990.04.10
申请号
JP19880250384
申请日期
1988.10.04
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
KITANI MASARU
分类号
B08B3/08;C23C16/02;H01L21/304
主分类号
B08B3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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