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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0296330(A) 申请公布日期 1990.04.09
申请号 JP19880248337 申请日期 1988.09.30
申请人 FUJITSU LTD;KYUSHU FUJITSU ELECTRON:KK 发明人 TABUCHI SHUJI;EIFUKU SHIYUUMA
分类号 H01L21/266;H01L21/027 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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