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发明名称 EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH0294431(A) 申请公布日期 1990.04.05
申请号 JP19880245780 申请日期 1988.09.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIMURA TAKASHI
分类号 H01L21/205;H01L21/316 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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