发明名称 PHOTO-ASSISTED CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0294430(A) 申请公布日期 1990.04.05
申请号 JP19880243822 申请日期 1988.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 IIDA YOSHINORI;MIYAGAWA RYOHEI
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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