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经营范围
发明名称
PHOTO-ASSISTED CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0294430(A)
申请公布日期
1990.04.05
申请号
JP19880243822
申请日期
1988.09.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
IIDA YOSHINORI;MIYAGAWA RYOHEI
分类号
H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
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