发明名称 PROCESS FOR FORMING SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要 Procédé de formation d'un mince film supraconducteur consistant à former une mince couche d'oxyde supraconducteur contenant du bismuth sur un substrat par un procédé de développement chimique en phase de vapeur où l'on utilise du triphénylbismuth Bi(C6H5)3 en tant que source de gaz pour ledit bismuth. Ce procédé permet d'obtenir une mince couche supraconductrice présentant une surface lisse dépourvue de défauts ainsi que d'excellentes propriétés supraconductrices. Lorsque le substrat est susceptible de s'oxyder, au moins une couche monoatomique, 47a et 47b, est formée au-dessus de ladite couche de substrat avant la formation de la mince couche supraconductrice. Cet agencement assure le transport stable du gaz de développement et empêche l'oxydation du substrat.
申请公布号 WO9003453(A1) 申请公布日期 1990.04.05
申请号 WO1989JP00939 申请日期 1989.09.14
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD. 发明人 ABE, HITOSHI;NAKAMORI, TOMOHIRO
分类号 C23C16/02;C23C16/40;H01L39/24;(IPC1-7):C23C16/30;C01G29/00;H01B13/00 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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