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发明名称
DOPING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0294518(A)
申请公布日期
1990.04.05
申请号
JP19880246256
申请日期
1988.09.30
申请人
NIPPON SANSO KK
发明人
MATSUMOTO ISAO
分类号
H01L21/223;C30B29/40;H01L21/205
主分类号
H01L21/223
代理机构
代理人
主权项
地址
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