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发明名称 METHODE UND GERAET ZUR IONENSTRAHLBEARBEITUNG.
摘要
申请公布号 DE3669234(D1) 申请公布日期 1990.04.05
申请号 DE19863669234 申请日期 1986.03.19
申请人 MICRION LTD. PARTNERSHIP, BEVERLY, MASS., US 发明人 DOHERTY, JOHN A., SUDBURY MASSACHUSETTS 01776, US;WARD, BILLY W., ROCKPORT MASSACHUSETTS 01966, US;SHAVER, DAVID C., CARLISLE MASSACHUSETTS 01741, US
分类号 H01J37/317;H01J37/02;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/305 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
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