发明名称 RESIST PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0293463(A) 申请公布日期 1990.04.04
申请号 JP19880243865 申请日期 1988.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ITO SHINICHI;OKANO HARUO
分类号 G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027 主分类号 G03F7/36
代理机构 代理人
主权项
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