Device for scanning a surface in two dimensions.

摘要

Eine Vorrichtung zur zweidimensionalen Abtastung einer Oberfläche (17) verfügt über eine beleuchtende Lichtquelle (1), eine zwei Antriebe aufweisende, zweidimensionale Lichtablenkeinrichtung (7) und einen Detektor (22). Ein von der beleuchtenden Lichtquelle (1) ausgesandter umgelenkter beleuchtender Lichtstrahl (5) und ein zum Detektor (22) zurückgestreuter Lichtstrahl (20) verlaufen im wesentlichen koaxial entlang einer optischen Achse (4), die die reflektierende Oberfläche eines einzigen Spiegels (6) der Lichtablenkeinrichtung (7) in einem festen Raumpunkt (15) trifft. In diesem kreuzen sich seine erste Drehachse (4) mit seiner zweiten Drehachse (13) im wesentlichen rechtwinklig, wobei eine Drehung des Spiegels (6) um die erste Drehachse (4) mit Hilfe des ersten Antriebs und um die zweite Drehachse (13) mit Hilfe des zweiten Antriebs (11) den festen Raumpunkt (15) in der reflektierenden Oberfläche des Spiegels (6) beläßt. Der erste Antrieb ist raumfest angeordnet, während der zweite Antrieb (11) um die erste Drehachse (4) verkippbar angeordnet ist. Der schnelle Schwingungen um die zweite Drehachse (13) erzeugende zweite Antrieb (11) ist ein Galvanometer-Versteller (11).