发明名称 LSI TESTER
摘要
申请公布号 JPH0293385(A) 申请公布日期 1990.04.04
申请号 JP19880244022 申请日期 1988.09.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 MIWA AKIO;KASAI SHIGENORI
分类号 G01R31/26;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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