| 发明名称 |
METHOD FOR TRANSFERRING PATTERNS ON SILICONE LADDER TYPE RESIN AND ETCHING SOLUTION USED IN SUCH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9002812(D0) |
申请公布日期 |
1990.04.04 |
| 申请号 |
GB19900002812 |
申请日期 |
1990.02.08 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
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| 分类号 |
B05D3/06;B05D7/24;C09K13/06;G03F7/075;G03F7/26;G03F7/40;H01L21/308 |
主分类号 |
B05D3/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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