发明名称 Method and an apparatus for evaluating the gas purifying ability of a gas purifier
摘要
申请公布号 US4912963(A) 申请公布日期 1990.04.03
申请号 US19890313529 申请日期 1989.02.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 MORI, KAZUYA;WATANABE, TOHRU;OKUMURA, KATSUYA
分类号 B01J19/00;G01M3/26;G01N5/02;H01L21/302 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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