发明名称 Semiconductor device and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 US4914050(A) 申请公布日期 1990.04.03
申请号 US19890362653 申请日期 1989.06.07
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SHIBATA, TADASHI
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/485;H01L29/41;H01L29/417 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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