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经营范围
发明名称
METHOD FOR FEEDING RAW MATERIAL IN VAPOR-PHASE CRYSTAL GROWTH PROCESS
摘要
申请公布号
JPH0292894(A)
申请公布日期
1990.04.03
申请号
JP19880246727
申请日期
1988.09.30
申请人
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE
发明人
IJICHI TETSURO
分类号
C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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