| 发明名称 |
PATTERN DEVELOPING PROCESS AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR900002188(B1) |
申请公布日期 |
1990.04.02 |
| 申请号 |
KR19860006837 |
申请日期 |
1986.08.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP. |
发明人 |
HASEBE HIROYOKI;SUZUKI MASAYUKI;MATSUOKA YASUO |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/00;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/00 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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