CAPTEUR DE FORCE A GUIDE D'ONDES OPTIQUE INTEGRE DANS UN SUBSTRAT

摘要

L'invention se rapporte à la mesure des forces ou des contraintes et concerne plus particulièrement un capteur de force à guide d'ondes optique intégrant sur un même substrat 12 : - un guide d'ondes monomode 2 transducteur supportant seul les contraintes qui sont appliquées par l'intermédiaire d'un plateau supérieur 14, - un réseau de couplage-mixage 7 composé de N réseaux concaves focalisateurs 7a et 7b, - N filtres de polarisation TM 8 et 9 disposés respectivement entre chaque réseau concave 7a et 7b et chaque détecteur 10 et 11,

et supportant : - une source laser 1, et - N détecteurs 10 et 11 disposés à chacun des N points de focalisation des ondes diffractées par le réseau de couplage-mixage 7.