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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0290526(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880240932 申请日期 1988.09.28
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MACHIDA KATSUYUKI;OIKAWA HIDEO;KIMIZUKA MASAKATSU;MORIYA SHIGERU
分类号 H01L21/3205;H01L21/31;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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