| 发明名称 |
INSPECTION OF IMAGE SENSOR AND INSPECTING DEVICE WHICH IS USED FOR THAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0290645(A) |
申请公布日期 |
1990.03.30 |
| 申请号 |
JP19880241141 |
申请日期 |
1988.09.28 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
IWASA KENJI;OZAWA MUNENORI |
| 分类号 |
G01R31/26;G01M11/00;H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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