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发明名称
FILM CARRIER
摘要
申请公布号
JPH0291956(A)
申请公布日期
1990.03.30
申请号
JP19880242315
申请日期
1988.09.29
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
TAKUBO TOMOAKI;SAITO KAZUYOSHI
分类号
H01L21/60;H05K1/00;H05K3/00
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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