发明名称 METAL TAPE FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH0290543(A) 申请公布日期 1990.03.30
申请号 JP19880241030 申请日期 1988.09.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 SERIZAWA KOJI;TANAKA HIROYUKI;YOSHIDA SUSUMU;ISHIDA TOSHIHARU;SAKAGUCHI MASARU
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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