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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0289340(A)
申请公布日期
1990.03.29
申请号
JP19880241361
申请日期
1988.09.27
申请人
MATSUSHITA ELECTRON CORP
发明人
TOMITA KOZO;MITSUYASU HIROKO
分类号
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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