发明名称 SURFACE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0290046(A) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 JP19880240711 申请日期 1988.09.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SASAKI KATSUYUKI;NISHIMURA SEIKICHI
分类号 G01N21/89;G01N21/88;G01N21/892;G01N21/93 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
地址