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发明名称 THERMALLY STABLE DUAL ACTING PHOTORESISTS CROSSLINKED BY PHOTOACID ON HEATING
摘要
申请公布号 AU595160(B2) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 AU19850043251 申请日期 1985.06.03
申请人 ROHM AND HAAS COMPANY 发明人 WAYNE EDMUND FEELY
分类号 G03C1/72;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/038;G03F7/09;G03F7/38;(IPC1-7):G03C1/56;G03F7/02;G03F7/08;G03F7/26 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
主权项
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