发明名称 MANUFACTURE OF MIS FIELD-EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0289323(A) 申请公布日期 1990.03.29
申请号 JP19880241827 申请日期 1988.09.27
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAMURA KIMIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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